英國愛德華渦輪分子真空泵STPH301C 

概述

Edwards 的高性能 STPH301C 渦輪分子泵是為嚴苛的半導體應用而設計的。這種泵經過實踐檢驗的可靠性和性能可以實現大的制程靈活性。STPH301C 已經由半導體和磁介質行業(yè)的大型設備制造商投入使用，并得到了認可。愛德華STPH301C STPH451C渦輪分子真空泵

應用

• 金屬（鋁）、鎢和電介質（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
• 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
• 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
• 濺射
• 離子注入源，射束線泵送端點站
• MBE
• 擴散
• 光致抗蝕劑脫模
• 晶體/晶膜生長
• 晶片檢查
• 負載鎖真空腔 
• 科學儀器：表面分析、質譜分析、電子顯微鏡
• 高能物理：射束線、加速器
• 放射線應用：融合系統(tǒng)、回旋

  功能和優(yōu)勢

  良好的轉子技術  

• 更高的氣體吞吐量

• 大的制程靈活性

• 無油

• 低振動

• 高度可靠

• 免維護

• 可用于嚴苛制程

• 使用壽命延長

• 良好的控制器設計  

• 自動調整

• 自行診斷功能

• 直流電機驅動

• 無電池運行

• 緊湊型設計  

• 占地面積小

• 半機架控制器

• 5 軸磁懸浮系統(tǒng)

• 無污染

• 少維護 愛德華STPH301C STPH451C渦輪分子真空泵

• 任意方向操作 

  技術數據

  入口法蘭	ISO100K
  出口	KF40
  吹掃口	KF10
  水冷卻接頭	PT1/4
  抽速
  N2	300 ls-1
  H2	200 ls-1
  壓縮比
  N2	>108
  H2	103
  加熱時的極限壓力	10-7 Pa
  	(10-9 Torr)
  大連續(xù)出口壓力	660 Pa
  	(5 Torr)
  大氮氣吞吐量	2500 sccm
  額定速度	48000 rpm
  啟動時間	4 分鐘
  高入口法蘭溫度	120 °C
  輸入電壓	100 至 120 (± 10) V 交流或
  	200 至 240 (± 10) V 交流
  功耗	0.6 kVA
  泵重量	15 kg
  控制器重量	9 kg

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一、進口真空泵維修：
1、BOC EDWARDS(愛德華)：GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特)：ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(萊寶)：SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉)：A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA：MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(貝克)：U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其樂)：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
9、ULVAC(愛發(fā)科)：GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA（巖田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（漢鐘）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二、進口真空泵配件銷售：
1、類型：真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控制板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂)、ULVAC(愛發(fā)科)、VIRIAN(瓦里安)等。

三、進口真空油銷售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。